真空蝶阀是一种用于真空系统中的关键阀门，通过圆盘形蝶板旋转实现启闭，控制气体流动。其结构简单、体积小、重量轻，适用于高真空、低压力环境，广泛应用于半导体、光伏、航天、科研等领域。
阀体材质多为不锈钢或铝合金，确保高密封性与耐腐蚀性；密封圈采用氟橡胶、硅橡胶或金属密封，适应不同真空度（如10^-6Pa至常压）。驱动方式包括手动、气动或电动，满足自动化需求。
优点包括快速启闭、低流阻、长寿命及易维护，但高压差环境下可能受限。选型时需考虑真空度、介质温度及连接方式（法兰或KF接口）。真空蝶阀是维持系统真空隔离与调节流量的高效解决方案。
